Установки электронно-лучевого напыления
09.04.2009 08:38

Установки электронно-лучевого напыления разработаны на современном мировом уровне и предназначены для осаждения сверхчистых металлических и диэлектрических покрытий в высоком и сверхвысоком вакууме. Технологии и оборудование для электронно-лучевого напыления являются одной из необходимых составляющих для будущего развития российской электроники и наноиндустрии.

Представленный модельный ряд оборудования позволит покрыть весь спектр отраслевых интересов: от научных исследований до серийного производства наногетероструктур.

Технологии современных гетероструктурных приборов требуют учета чистоты осаждаемого покрытия и подготовки поверхности полупроводника перед осаждением металла. Особенно критичными чистота Процесса осаждения и чистота осаждаемого металла становятся в случае гетероструктурных приборов на основе нитридных полупроводников (AlGaN, InAlGaN и т.п.).

Главное преимущество «электронного луча» перед основные методиками физического осаждения металлов – прецизионная чистота исполнения.

Компания «Научное и технологическое оборудование» была основана в ноябре 2001 года группой специалистов, которые многие годы занимались полупроводниковыми технологиями с использованием сверхвысоковакуумного оборудования. На сегодняшний день – это единственная в России компания, которая производит законченный комплекс оборудования мирового уровня для эпитаксиального выращивания полупроводниковых наногетероструктур, а также проведения ключевых технологических операций планарного цикла при проведении разработок и серийного производства приборов наноэлектроники, полупроводниковой микро- и оптоэлектроники.

Презентация является закрытой, в ней примут участие представители ведущих российских предприятий электронной промышленности, Федерального агентства по науке и инновациям, Комитета экономического развития, промышленной политики и торговли Санкт-Петербурга.

Для представителей средств массовой информации предусмотрена особая программа, в ходе которой журналисты смогут посетить презентацию руководителя группы разработчиков, увидеть производственные помещения с оборудованием на разных стадиях сборки и взять интервью у руководства компании.

 

 

Источник: portalnano.ru