Исследование возможности получения слоев нанокристаллического кремния
Достижения в области нанотехнологий - нанотехнологические процессы и наноматериалы

Нанокристаллический кремний представляет собой материал, в котором кристаллы кремния размером в несколько десятков нанометров распределены по матрице из аморфного кремния. При таком уменьшении размеров кристаллов начинают работать квантовые законы и электрофизические свойства вещества резко меняются. Этим можно, в частности, воспользоваться для создания более эффективных солнечных батарей. В частности, очень перспективной считается конструкция, в которой слой нанокристаллического кремния заключен между тонкими слоями аморфного кремния: она обеспечивает не только высокую эффективность, но и значительную экономию кремния по сравнению с батареями на основе кремниевых пластинок. Другой способ повышения эффективности электронных кремниевых устройств — изменение изотопного состава кремния.

Сотрудники Института прикладной физики РАН провели эксперименты по получению тонких пленок нанокристаллического кремния в плазменном разряде. В результате были определены параметры режима, который обеспечивает формирование нанокристаллов со средним размером 10 нм. Кроме того, были получены слои изотопно-модифицированного кремния, обогащенные тяжелыми изотопами 29Si и 30Si по сравнению с природной смесью. Немаловажно, что сырьем служит тетрафторид кремния, который менее пожаро- и взрывоопасен, нежели традиционно применяемый силан.

В результате работы заложена основа для создания отечественной технологии высокоскоростного получения тонких пленок кремния с заданными характеристиками для микроэлектроники и производства солнечных батарей.

Источник информации: http://www.nanorf.ru/events.aspx?cat_id=224&d_no=2142